Sensor Instruments
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層厚測定とは?


透過を使用した層厚測定

拡散した(㎛範囲の)薄い層が(100㎛の厚さほどの)光透過性フィルムに貼られた場合、光透過性によって拡散層の厚みが高精度で決定します。
 
層の構造:
 

 
測定原理
LEDマトリクスを〔白色(VIS)〕光源または赤外光(860nmのIR)として使用します。
 
層の構造と厚みにしたがって、拡散光源(SI-SLU-16-DIFまたはSI-SLU-16-DIF-IR)または、(ほぼ平行方向な光の)低開口数を持つ光源(SI-SLU-16またはSI-SLU-16-IR)を使用します。
 
SPECTRO-3-SLU-SA タイプの低開口数を持つトゥルーカラー色検出器、または可視光域用のコントラストセンサー(SPECTRO-1-SLU-SA)、またはIR域用のセンサー(SPECTRO-1-SLU-SA-IR) を、検出器として使用します。
 
測定は全通ビームを使用して行われます。つまり、トランスミッターとレシーバーを検査したい層の対称に設置します。
 

 
 
トランスミッター側で光が拡散層(I0)に当たると、光は層によって拡散的に空間に散乱し、残りのわずかな光だけがレシーバーに到達します(I(d))。
 
関係性は以下の通りです:

 
       
 
 

 
層の厚みが変化すると結果は以下の通りになります:
 
 


 
2つのサンプルの厚みを把握出来れば、センサーシステムを実際の層の厚みに調節することが出来ます: d1, d2

→ I(d1) と I(d2) が測定できます。
→ 定数を決定します ε·c:


 

さらに、と ε·c I(d1)を使い定数K x I0 を決定できます(測定中I0が変化しないことを前提)。


絶対的な層の厚みを以下から決定できます:
 

測定のセットアップ
層の厚みは、(電圧または電流)アナログ値として測定システムから、またはシリアルインターフェースを通じてアウトプットされます(タイプによって異なります)。

 


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